预处理+视觉检测,减少人工参与,节省人工成本;
搭配自动化,降低人工作业难度,节省管理成本;
实时监测,避免不良片流入后道工序, 减少返工,提高产能;
提前检测,避免大批量碎片产生,节省损耗成本;
实时监测舟状态,辅助人员舟维护,节省维护成本;
掉片
舟底碎片
翘片
物料能力 | |
硅片尺寸 | 156~230mm |
检测缺陷 | 翘片、掉片、舟面异物、舟槽内双片、舟槽内少片、 舟内 破片,舟叶变形,舟叶破损,陶瓷杆松动等 |
设备* | |
供电 | 220VAC±10%,16A,50/60Hz |
安装位置 | PE段管式镀膜炉 |
通讯要求 | IO/tcp协议 |
检测能力* | |
运行模式 | 在线检测,全检或抽检 |
拍照方式 | 面阵或线阵 |
检测节拍 | ≤0.6s/次 |
Uptime | ≥99.5%,计算方式:[1-(维护+维护时间)/总时间]*100% |
检测节拍 | 误检率:≤0.02%(良率大于95%以上) 漏检率:≤0.02%(良率大于95%以上) |
辅助功能 | 检测结果可上传MES系统 |
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